必要スペースを半分にするウエハーリフタピン

用途例：エッチング装置、プローバ

課題：デットスペースの存在

リフターを上下するためには、モータ自身と回転運動を上下の直進運動にするためにギアやベルトなどの

周辺部品とスペースが必要なことがありました。

その結果どうしてもリフター自身が寸胴になってしまい、デッドスペースが生まれ、

結果的に装置自体のサイズ感が大きくなりがちでした。

解決策・DDモータのメリット

装置の高さを最小化
中空軸構造にボールねじを貫通させることで、装置全体の高さを抑えることが可能。
設置スペースを削減し、装置の小型化を実現します。
特に、狭小空間での高精度動作を求められる装置に最適です。

イレギュラー検出機能
電流値をフィードバックすることで、異常が発生した時に検出が可能です。
ウエハの破損リスクを軽減し、メンテナスとコスト面を改善出来ます。
例： 過負荷や摩耗による動作不良の早期発見
利点： ダウンタイムを最小化し、生産性を維持

採用機種