ウエハ検査・インデックス機構

用途例：ウエハ検査、検査テーブル 、インデックス

課題：軸・取り付け面の振れ、駆動時の振動

ウエハ自体の歪みや上に乗ってしまった塵を検出する場合、アクチュエータのさまざまな面が装置の課題となることがあります。

軸が振れていると真円度の測定に影響が出たり、面は歪みの測定に影響が出てしまいます。　

また、公差や取り付け誤差が生み出す振動も検査項目に影響を出してしまうことになります。

1）μDDモータのメリット

• 高精度と安定性
  スペースが限られた環境でも、5µm以下の軸面振れと1µm以下のNRRO（Non-Repeatable Run-Out）を実現。
• 振動抑制と高耐久性
  ダイレクトドライブ構造により、振動を最小化し、長期間動作でも高精度を維持。
• 多機能な中空軸構造
  中空軸内にエアチューブやケーブルを通すことで、ウエハハンドリングやスラリー塗布など、幅広い用途に対応可能。
• 圧倒的なイナーシャ比への対応
  1,000倍を超えるイナーシャ比においても、安定した整定動作を実現。

2）  主な採用モータ