ウエハ反転機構
小型・軽量・高精度
半導体の製造において使用される装置です。
半導体ウエハは、集積回路（IC）やその他の電子デバイスを作成するための基盤材料であり、製造工程では何度も表裏の加工や処理が必要になります。
その際にウエハの向きを正確かつ自動的に反転させる役割を果たしています。
高トルク・超小型・中空軸で実現する次世代の搬送ソリューション
精密搬送における重要な課題である「反転動作」を、当社のダイレクトドライブ（DD）モータが革新的に解決します。
赤丸で示した部分に組み込まれたDDモータは、高トルク、超小型、中空軸の3つの特長により、以下のメリットを提供します
採用モータ：MDH-6018-500KE
